Das µCMM-Messsystem der Firma Bruker alicona ermöglicht Messungen von Geometrien, Form, Lage und Rauheit in höchster Präzision mit nur einem Sensor. Die Fokus-Variation ist sowohl für matte als auch für hochpolierte Flächen geeignet.
- Messprinzip: berührungslos, optisch, dreidimensional
- Anzahl Messpunkte Einzelmessung: X 1720, Y1720, X x Y: 2.95 Mio.
- Anzahl Messpunkte Mehrfachmessung: bis zu 500 Mio.
- Messvolumen (XxYxZ): 310 mm x 310 mm x 310 mm
- 3D-Genauigkeit: E(Uni:Tr:ODS,MPE) = (0.8 + L/600) µm (L in mm)
